Mô tả

Ống quartz cho lò khuếch tán wafer

Ống quartz cho lò khuếch tán wafer là loại ống thạch anh tinh khiết cao (High Purity Quartz / Fused Silica), được lắp đặt bên trong lò khuếch tán (Diffusion Furnace) để tạo buồng xử lý nhiệt cho wafer silicon.

Khác với ống quartz công nghiệp thông thường, loại ống này được thiết kế riêng cho:

Nhiệt độ cực cao

Môi trường cleanroom

Quy trình yêu cầu độ sạch và độ ổn định tuyệt đối

Vì Sao Ngành Bán Dẫn Bắt Buộc Phải Dùng Ống Quartz?

Trong lò khuếch tán wafer, ống quartz đảm nhiệm cùng lúc nhiều chức năng quan trọng:

Tạo môi trường nhiệt độ đồng đều cho toàn bộ wafer

Dẫn và kiểm soát khí công nghệ (O₂, N₂, POCl₃, BBr₃…)

Ngăn nhiễm bẩn kim loại và tạp chất

Đảm bảo quy trình khuếch tán đạt độ chính xác vi mô

 Nếu sử dụng vật liệu không đạt chuẩn, nguy cơ:

Hỏng wafer

Sai lệch đặc tính điện

Dừng dây chuyền sản xuất
là rất cao.

Đặc Tính Kỹ Thuật Nổi Bật Của Ống Quartz Bán Dẫn

Ống quartz cho lò khuếch tán wafer được lựa chọn vì các đặc tính mà vật liệu khác không thay thế được:

Độ tinh khiết cực cao, không phát sinh ion kim loại

Chịu nhiệt lên đến 1100–1200°C

Chống sốc nhiệt khi gia nhiệt – làm nguội nhanh

Ổn định hóa học, không phản ứng với khí công nghệ

Tuổi thọ cao, phù hợp vận hành 24/7

Các Loại Ống Quartz Cho Lò Khuếch Tán Wafer Phổ Biến

Tùy cấu hình lò và quy trình sản xuất, ống quartz được chia thành:

Ống quartz cho lò khuếch tán ngang (Horizontal Furnace)

Ống quartz cho lò khuếch tán đứng (Vertical Furnace)

Ống quartz cho lò oxy hóa wafer

Ống quartz cho LPCVD / CVD

Ống quartz OEM gia công theo bản vẽ lò

Thông Số Kỹ Thuật Tham Khảo

Vật liệu: High Purity Quartz / Fused Silica

Dạng: Ống tròn, ống thẳng

Đường kính – chiều dài: Gia công theo thiết kế lò

Nhiệt độ làm việc: ≥ 1100°C

Môi trường sử dụng: Cleanroom – nhiệt cao

Độ ổn định: Phù hợp tiêu chuẩn bán dẫn

Ứng Dụng Thực Tế

Ống quartz cho lò khuếch tán wafer được sử dụng rộng rãi trong:

Nhà máy sản xuất wafer silicon

Dây chuyền chip, IC, vi mạch

Lò diffusion – oxidation – CVD

Ngành điện tử, bán dẫn, công nghệ cao

Nhà Máy Sản Xuất & Xuất Xứ

Trên thị trường Việt Nam, ống quartz cho lò khuếch tán wafer chủ yếu được:

Sản xuất tại nhà máy OEM chuyên ngành bán dẫn

Xuất xứ phổ biến:

Trung Quốc (OEM cao cấp)

Hàn Quốc, Đài Loan

Nhật Bản / Châu Âu (dự án đặc thù)

 Có thể cung cấp CO – CQ – tài liệu kỹ thuật theo yêu cầu dự án.

Lắp Đặt – Bảo Trì – Thay Thế

Lắp đặt theo bản vẽ thiết kế lò khuếch tán

Bảo trì định kỳ theo chu kỳ lò

Dễ thay thế từng ống khi cần

Giảm thời gian dừng dây chuyền sản xuất

📞 Liên hệ tư vấn & báo giá

👉 Hãy liên hệ ngay với chúng tôi để được hỗ trợ miễn phí:

Công ty TNHH Kỹ Thuật công nghệ Hoàng Thiên Phát Service chuyên gia cung cấp phân phối hàng chính hãng, giá cả cạnh tranh tốt nhất các Sản phẩmTại Việt Nam.

📞 Hotline: Ms. Thủy – 0938 82 49 77 để được hổ trợ dịch vụ và giá ưu đãi tốt nhất.

📍 Địa chỉ: 42 Võ Thị Sáu,Xã Hồ Tràm, Tp.HCM

📧 Email: sales2@hoangthienphatservice.com.

Đơn vị hổ trợ tư vấn tin cậy sản phẩm Tại Việt Nam. Công ty TNHH Kỹ Thuật Công Nghệ Hoàng Thiên Phát Service.

Nới Bán sản phẩm chính hãng, CO CQ đầy đủ Tại Việt Nam. Công ty TNHH Kỹ Thuật Công Nghệ Hoàng Thiên Phát Service. “Bảo dưỡng định kỳ – Hoạt động ổn định – Kéo dài tuổi thọ hệ thống của bạn.”