Mô tả

Ống thạch anh cho lò nung ngành bán dẫn Quartz tube

Quartz tube furnace semiconductor là ống thạch anh (fused silica / high purity quartz tube) được sử dụng trong lò nung – lò khuếch tán (furnace) của dây chuyền sản xuất bán dẫn. Đây là linh kiện cốt lõi trong các quy trình xử lý wafer silicon ở nhiệt độ cao và môi trường cực sạch.

Trong ngành semiconductor, quartz tube furnace đóng vai trò tạo buồng xử lý nhiệt ổn định, đảm bảo độ tinh khiết, đồng đều nhiệt và không nhiễm tạp chất, yếu tố quyết định đến chất lượng chip và IC.

Quartz tube furnace là ống thạch anh được lắp bên trong:

Lò khuếch tán (Diffusion Furnace)

Lò oxy hóa (Oxidation Furnace)

Lò CVD / LPCVD

Lò annealing xử lý wafer

Vai trò của ống thạch anh cho lò nung ngành bán dẫn Quartz tube

Dẫn và phân bố nhiệt độ đồng đều

Dẫn khí công nghệ (N₂, O₂, H₂…)

Bảo vệ wafer silicon khỏi nhiễm bẩn kim loại

Đảm bảo môi trường cleanroom – ultra clean

Đặc điểm kỹ thuật nổi bật

Độ tinh khiết cực cao (High Purity Quartz / Fused Silica)

Chịu nhiệt rất cao: 1100 – 1200°C

Chống sốc nhiệt tốt, không nứt vỡ

Không phát sinh ion kim loại, không nhiễm bẩn wafer

Ổn định hóa học, dùng lâu dài trong môi trường khắc nghiệt

Tuổi thọ cao, giảm thời gian dừng dây chuyền

 Ứng dụng của Quartz Tube Furnace Semiconductor

Dây chuyền sản xuất wafer silicon

Lò diffusion – oxidation – CVD

Nhà máy chip, IC, vi mạch

Ngành điện tử, bán dẫn, công nghệ cao

Phòng sạch cleanroom class cao

 Thông số kỹ thuật tham khảo

Vật liệu: High Purity Quartz / Fused Silica

Dạng: Ống tròn – ống thẳng

Đường kính: Theo thiết kế lò

Chiều dài: Gia công theo bản vẽ

Nhiệt độ làm việc: ≥ 1100°C

Độ tinh khiết: Đáp ứng tiêu chuẩn semiconductor

Môi trường: Nhiệt cao – cleanroom

 Tiêu chuẩn & yêu cầu ngành bán dẫn

Phù hợp tiêu chuẩn sản xuất bán dẫn

Đáp ứng yêu cầu cleanroom

Gia công chính xác cao, sai số thấp

Kiểm soát nghiêm ngặt tạp chất kim loại

Nhà máy sản xuất &  Xuất xứ

Quartz tube cho lò nung bán dẫn (Quartz Tube Furnace Semiconductor) được sản xuất tại các nhà máy chuyên biệt về thạch anh kỹ thuật cao, đáp ứng yêu cầu khắt khe của ngành semiconductor, bao gồm:

Dây chuyền nấu chảy fused silica độ tinh khiết cao

Gia công ống quartz chính xác theo bản vẽ lò furnace

Kiểm soát nghiêm ngặt:

Độ tinh khiết vật liệu

Sai số hình học

Tạp chất kim loại (metal contamination)

Sản xuất trong môi trường kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt, phù hợp cho cleanroom

Các nhà máy này thường chuyên cung cấp cho:

Lò diffusion

Lò oxidation

Lò CVD / LPCVD

Dây chuyền xử lý wafer silicon

 Xuất xứ phổ biến tại thị trường Việt Nam

Tại Việt Nam, quartz tube cho ngành bán dẫn hiện nay chủ yếu có các xuất xứ phổ biến sau:

Trung Quốc (OEM công nghiệp cao cấp)
 Phổ biến nhất, linh hoạt gia công theo bản vẽ, giá cạnh tranh, phù hợp dự án & nhà máy

Hàn Quốc / Đài Loan
 Chuyên cho dây chuyền bán dẫn, độ ổn định cao, dùng trong nhà máy điện tử – semiconductor

Nhật Bản / Châu Âu (theo dự án đặc thù)

 Độ tinh khiết rất cao, dùng cho yêu cầu kỹ thuật đặc biệt, chi phí cao

 Tất cả các nguồn cung đều có thể đáp ứng CO – CQ, hồ sơ kỹ thuật và tiêu chuẩn ngành bán dẫn theo yêu cầu dự án.

Lắp đặt – Bảo trì – Thay thế

Lắp đặt theo thiết kế lò furnace

Bảo trì định kỳ theo chu kỳ vận hành

Dễ thay thế khi bảo dưỡng lò

Giảm rủi ro dừng dây chuyền sản xuất

📞 Liên hệ tư vấn & báo giá

👉 Hãy liên hệ ngay với chúng tôi để được hỗ trợ miễn phí:

Công ty TNHH Kỹ Thuật công nghệ Hoàng Thiên Phát Service chuyên gia cung cấp phân phối hàng chính hãng, giá cả cạnh tranh tốt nhất các Sản phẩmTại Việt Nam.

📞 Hotline: Ms. Thủy – 0938 82 49 77 để được hổ trợ dịch vụ và giá ưu đãi tốt nhất.

📍 Địa chỉ: 42 Võ Thị Sáu,Xã Hồ Tràm, Tp.HCM

📧 Email: sales2@hoangthienphatservice.com.

Đơn vị hổ trợ tư vấn tin cậy sản phẩm Tại Việt Nam. Công ty TNHH Kỹ Thuật Công Nghệ Hoàng Thiên Phát Service.

Nới Bán sản phẩm chính hãng, CO CQ đầy đủ Tại Việt Nam. Công ty TNHH Kỹ Thuật Công Nghệ Hoàng Thiên Phát Service. “Bảo dưỡng định kỳ – Hoạt động ổn định – Kéo dài tuổi thọ hệ thống của bạn.”